洁净度级别 |
尘粒最大允许数/立方米 ≥0.5μm尘粒数 |
≥5μm尘粒数 |
微生物最大允许数 浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
100级 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
10,000级 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100,000级 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300,000级 |
10,500,000 |
60,000 |
1000 |
15 |
ISO14644-1(国际标准)
空气洁净 度等级(N) |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(空气粒子数个/立方米) |
|||||
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
|
ISO Class1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO Class7 |
|
|
|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
ISO Class8 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
ISO Class9 |
|
|
|
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平 |
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